公开(公告)号：US20120223048A1

公开(公告)日：2012-09-06

申请号：US13392246

申请日：2010-08-26

申请人： Ajit Paranjpe ,  Todd A. Luse ,  Roger P. Fremgen ,  Narasimhan Srinivasan ,  Boris L. Druz ,  Katrina Rook ,  Adrian Celaru

发明人： Ajit Paranjpe ,  Todd A. Luse ,  Roger P. Fremgen ,  Narasimhan Srinivasan ,  Boris L. Druz ,  Katrina Rook ,  Adrian Celaru

IPC分类号： G11B5/84 ,  B44C1/22 ,  B05C13/02

CPC分类号： G11B5/855 ,  C23C14/042 ,  C23C14/046 ,  C23C14/505 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754

摘要： An inline processing system for patterning magnetic recording layers on hard discs for use in a hard disc drive. Discs are processed on both sides simultaneously in a vertical orientation, in round plate-like holders called MDCs. A plurality (as many as 10) discs are held in a dial carrier of the MDC, and transferred from one process station to another. The dial carrier of the MDC may be rotated and/or angled at up to 70° from normal in each process station, so that one or a plurality of process sources may treat the discs simultaneously. This configuration provides time savings and a reduction in the number and size of process sources needed. A mask enhancement process for patterning of magnetic media, and a filling and planarizing process used therewith, are also disclosed.

摘要翻译： 一种用于在用于硬盘驱动器的硬盘上图案化磁记录层的在线处理系统。 光盘在垂直方向同时处理，在称为MDC的圆盘状支架中。 多个（多达10个）盘被保存在MDC的拨号载体中，并从一个处理站传送到另一个处理站。 MDC的拨号盘可以在每个处理站中与正常旋转和/或成角度高达70°，使得一个或多个处理源可以同时处理盘。 此配置可节省时间并减少所需的进程源的数量和大小。 还公开了用于磁性介质图案化的掩模增强工艺，以及与其一起使用的填充和平坦化工艺。

公开(公告)号：US6018862A

公开(公告)日：2000-02-01

申请号：US159330

申请日：1998-09-23

申请人： Frank Stageberg ,  Kenneth P. Ash ,  Feng Wang ,  Sara L. Gordon ,  Wojciech Worwag ,  Katrina Rook ,  Kevin Welsh

发明人： Frank Stageberg ,  Kenneth P. Ash ,  Feng Wang ,  Sara L. Gordon ,  Wojciech Worwag ,  Katrina Rook ,  Kevin Welsh

IPC分类号： G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3967 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3153 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048

摘要： A first layer of magnetic material is deposited onto a substrate to form a bottom pole of an inductive transducer. A second layer of magnetic material is plated on the first layer of magnetic material within the pole tip region to form a bottom pole extension. A layer of non-magnetic metal is then plated on the bottom pole extension to form the gap. A third layer of magnetic material is then plated on the gap layer to form the top pole extension. In one form of the invention, a mask is employed to define a good zero throat level surface to the pole tip region.

摘要翻译： 将第一层磁性材料沉积在基底上以形成感应换能器的底极。 磁极材料的第二层被镀在磁极材料的第一层磁极尖端区域内以形成底极延伸部分。 然后将一层非磁性金属镀在底极延伸部上以形成间隙。 然后将第三层磁性材料镀在间隙层上以形成顶极延伸部。 在本发明的一种形式中，使用掩模来将极好的喉部水平面限定到极尖区域。