公开(公告)号：US20020104379A1

公开(公告)日：2002-08-08

申请号：US09867286

申请日：2001-05-29

Applicant: Input/Output, Inc.

Inventor： Robert Ried ,  Arjun Selvakumar ,  Howard Goldberg ,  Martin Schmidt ,  Lianzhong Yu

IPC: G01P015/125

CPC classification number: G01V1/181 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/053 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125

Abstract: An accelerometer for measuring seismic data. The accelerometer includes a measurement mass assembly having top and bottom electrodes, a top capacitor electrode, and bottom capacitor electrode. One or more of the electrodes include re-entrant openings formed in the surface of the electrodes.

Abstract translation: 用于测量地震数据的加速度计。 加速度计包括具有顶部和底部电极的测量质量组件，顶部电容器电极和底部电容器电极。 一个或多个电极包括在电极的表面中形成的再入口。