公开(公告)号：US08484755B2

公开(公告)日：2013-07-09

申请号：US12742813

申请日：2008-11-17

申请人： Richard Leach ,  Ben Hughes ,  Alan Wilson

发明人： Richard Leach ,  Ben Hughes ,  Alan Wilson

IPC分类号： G01Q20/00

CPC分类号： G01Q20/04 ,  G01B7/002 ,  G01B7/012 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/08

摘要： A microprobe, measurement system and method are disclosed. The microprobe includes a probe tip mounted at a meeting point of a plurality of flexures. The probe tip is moveable upon flexing of one or more of the flexures, each flexure further comprising one or more actuators controllable to flex the flexure and one or more sensors arranged to sense flexing of the flexure.

摘要翻译： 公开了一种微探针，测量系统和方法。 微探针包括安装在多个弯曲部的汇合点处的探针尖端。 探针尖端可以在弯曲一个或多个挠曲件时移动，每个挠曲件还包括一个或多个可控制以弯曲挠曲件的致动器，以及一个或多个传感器，其布置成感测挠曲件的弯曲。

公开(公告)号：US20110047661A1

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：US12742813

申请日：2008-11-17

申请人： Richard Leach ,  Ben Hughes ,  Alan Wilson

发明人： Richard Leach ,  Ben Hughes ,  Alan Wilson

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q70/08

CPC分类号： G01Q20/04 ,  G01B7/002 ,  G01B7/012 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/08

摘要： A microprobe, measurement system and method are disclosed. The microprobe includes a probe tip mounted at a meeting point of a plurality of flexures. The probe tip is moveable upon flexing of one or more of the flexures, each flexure further comprising one or more actuators controllable to flex the flexure and one or more sensors arranged to sense flexin of the flexure.

摘要翻译： 公开了一种微探针，测量系统和方法。 微探针包括安装在多个弯曲部的汇合点处的探针尖端。 探针尖端可以在弯曲一个或多个挠曲件时移动，每个挠曲件还包括一个或多个可控制以弯曲挠曲件的致动器和布置成感测挠曲件的挠曲的一个或多个传感器。