公开(公告)号：US20090027660A1

公开(公告)日：2009-01-29

申请号：US12173857

申请日：2008-07-16

Applicant: Shahin Zangooie ,  Roger M. Young ,  Lin Zhou ,  Clemente Bottini ,  Ronald D. Fiege

Inventor： Shahin Zangooie ,  Roger M. Young ,  Lin Zhou ,  Clemente Bottini ,  Ronald D. Fiege

IPC: G01B9/08

CPC classification number: G03F7/70516

Abstract: A method, system and computer program product for determining a geometric parameter of an optical spot of a light beam are disclosed. A method comprises: providing a calibration target, the calibration target including a systematic variation in a parameter; measuring the calibration target with respect to the systematic variation using the light beam to obtain a plurality of measurements; and analyzing the measurements and the systematic variation to determine the geometric parameter of the optical spot.

Abstract translation: 公开了一种用于确定光束的光点的几何参数的方法，系统和计算机程序产品。 一种方法包括：提供校准目标，所述校准目标包括参数中的系统变化; 使用光束测量相对于系统变化的校准目标以获得多个测量值; 并分析测量和系统变化，以确定光点的几何参数。

公开(公告)号：US20090009763A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：US11772838

申请日：2007-07-03

Applicant: Shahin Zangooie ,  Lin Zhou ,  Roger M. Young ,  Clemente Bottini ,  Robert J. Foster ,  Ronald D. Fiege

Inventor： Shahin Zangooie ,  Lin Zhou ,  Roger M. Young ,  Clemente Bottini ,  Robert J. Foster ,  Ronald D. Fiege

IPC: G01J3/45 ,  G01B11/14 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: A sample stage for performing measurements using an optical metrology system includes at least one sample section for retention of a sample, and components for controlling orientation of the sample section with relation to the optical metrology system. A method and a computer program product are provided.

Abstract translation: 用于使用光学测量系统进行测量的样品台包括用于保持样品的至少一个样品部分和用于控制样品部分相对于光学测量系统的取向的部件。 提供了一种方法和计算机程序产品。