公开(公告)号：US09587749B2

公开(公告)日：2017-03-07

申请号：US14456258

申请日：2014-08-11

Applicant: Applied Materials Israel, Ltd.

Inventor： Michael R. Rice ,  Natan Schlimoff ,  Igor Krivts (Krayvitz) ,  Israel Avneri ,  Yoram Uziel ,  Erez Admoni ,  Paul Reuter ,  William (Ty) Weaver

IPC: F16K3/00 ,  F16K25/00 ,  F16K3/02 ,  F16K39/04 ,  F16K25/02 ,  F16K51/02 ,  F16K3/18

CPC classification number: F16K3/0236 ,  F16K3/0227 ,  F16K3/188 ,  F16K25/02 ,  F16K39/04 ,  F16K51/02 ,  Y10T137/877

Abstract: There is provided a slit valve, comprising: a first slit valve portion having a first window therethrough, the first window is sized to permit passage of an object through the first window; wherein the first window is surrounded by a first area of the first slit valve portion; a second slit valve portion that comprises a first sealing element and a first positioning module; wherein the first positioning module is arranged to move the first sealing element in relation to the first window; wherein at least one slit valve portion of the first and second slit valve portions comprises at least one first gas opening for emitting pressurized gas so as to assist in a creation of a first gas cushion between the first area and the first sealing element when the first sealing element is placed adjacent to the first window thus creating a seal between the first and second slit valve portions.

Abstract translation: 提供了一种狭缝阀，包括：第一狭缝阀部分，其具有穿过其中的第一窗口，第一窗口的尺寸设定成允许物体通过第一窗口; 其中所述第一窗口被所述第一狭缝阀部分的第一区域包围; 第二狭缝阀部分，其包括第一密封元件和第一定位模块; 其中所述第一定位模块被布置成相对于所述第一窗口移动所述第一密封元件; 其中所述第一和第二狭缝阀部分的至少一个狭缝阀部分包括用于发射加压气体的至少一个第一气体开口，以便当所述第一和第二狭缝阀部分在所述第一和第二狭缝阀部分的所述第一和第二密封元件之间产生第一气垫时， 密封元件被放置成与第一窗口相邻，从而在第一和第二狭缝阀部分之间形成密封。