公开(公告)号：US5637199A

公开(公告)日：1997-06-10

申请号：US904835

申请日：1992-06-26

申请人： Robert D. Lorentz ,  Joseph H. Sexton

发明人： Robert D. Lorentz ,  Joseph H. Sexton

IPC分类号： C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23C14/46 ,  H01J37/30

CPC分类号： H01J37/3002 ,  C23C14/087 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/46 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/3146

摘要： Coated shields useful in a sputtering deposition chamber comprise a binder and particles of the same material as the target. Application of the coating material to interior surfaces and appliances of the sputtering chamber reduces contamination of the sputtered material.

摘要翻译： 在溅射沉积室中有用的涂层屏蔽件包括与靶材相同材料的粘合剂和颗粒。 涂覆材料在溅射室的内表面和器具上的应用减少了溅射材料的污染。