公开(公告)号：US20130319333A1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：US13909466

申请日：2013-06-04

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Jin-sub Lee ,  Min-seok Kim ,  Jung-sub Kim ,  Cheol-soo Sone

IPC: C23C16/455 ,  B05B1/00

CPC classification number: C23C16/455 ,  B05B1/005 ,  C23C16/45508 ,  C23C16/45574

Abstract: An injector and a material layer deposition chamber including the same. An injector includes: a plurality of independent sections; and a gas inlet and a gas outlet that are provided in each of the plurality of independent sections, wherein gas outlets provided in two adjacent sections are positioned and configured to inject gas in a limited and different direction relative to each other.

Abstract translation: 一种喷射器和包括该喷射器的材料层沉积室。 喷射器包括：多个独立部分; 以及设置在所述多个独立部分中的每一个中的气体入口和气体出口，其中设置在两个相邻部分中的气体出口被定位和构造成相对于彼此在有限且不同的方向上喷射气体。