公开(公告)号：US6153917A

公开(公告)日：2000-11-28

申请号：US270659

申请日：1999-03-16

申请人： Tadao Matsunaga ,  Takashi Kunimi ,  Masahiro Nezu ,  Masatomo Mori ,  Masayoshi Esashi

发明人： Tadao Matsunaga ,  Takashi Kunimi ,  Masahiro Nezu ,  Masatomo Mori ,  Masayoshi Esashi

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L21/283

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828

摘要： A semiconductor acceleration sensor including a central board having a movable electrode section, an outside board having a stationary electrode section, and a sealing insulating section for joining the central board and the outside board which are laminated on each other, wherein the sealing insulating section has a conductive layer, and the conductive layer is a sealing member or an anodic bonding electrode.

摘要翻译： 一种半导体加速度传感器，包括具有可动电极部分的中心板，具有固定电极部分的外部板和用于接合中心板和外部板的彼此层压的密封绝缘部分，其中密封绝缘部分具有 导电层，并且导电层是密封构件或阳极接合电极。