Templates Having High Contrast Alignment Marks
    21.
    发明申请
    Templates Having High Contrast Alignment Marks 有权
    具有高对比度对齐标记的模板

    公开(公告)号:US20110192302A1

    公开(公告)日:2011-08-11

    申请号:US13021461

    申请日:2011-02-04

    IPC分类号: B41N3/00

    摘要: Described are systems and methods for formation of templates having alignment marks with high contrast material. High contrast material may be positioned within recesses of alignment marks.

    摘要翻译: 描述了用于形成具有高对比度材料的对准标记的模板的系统和方法。 高对比度材料可以位于对准标记的凹槽内。