公开(公告)号：US5434363A

公开(公告)日：1995-07-18

申请号：US086708

申请日：1993-07-07

申请人： Masahito Goto ,  Hiroshi Morimoto ,  Yasunori Shimada ,  Takayoshi Nagayasu ,  Mitsuaki Hirata ,  Yoshitaka Hibino ,  Tomohiko Yamamoto

发明人： Masahito Goto ,  Hiroshi Morimoto ,  Yasunori Shimada ,  Takayoshi Nagayasu ,  Mitsuaki Hirata ,  Yoshitaka Hibino ,  Tomohiko Yamamoto

IPC分类号： G02F1/13 ,  C23C14/02 ,  C23C14/18 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/136 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/48 ,  H01L23/15 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786 ,  H05K1/09

CPC分类号： G02F1/13439 ,  C23C14/022 ,  G02F1/136286 ,  H01L21/4846 ,  H01L23/15 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/78603 ,  G02F1/1362 ,  H01L2924/0002

摘要： A metallic wiring board includes nitrogen implanted in a surface of a substrate or a protective layer including nitrogen formed on the substrate upon which is formed a metallic film including, as a main component, one of Ta and Nb. An insulating film covering the metallic wiring is formed by anodic oxidation. The nitrogen in the substrate or the protective layer prevents Ta (or Nb) ions from entering the substrate during the anodic oxidation of the metallic wiring. As a result, insulating properties of the substrate are not degraded during the oxidation.

摘要翻译： 金属布线板包括注入到基板表面的氮或包含形成在基板上的氮的保护层，在该基板上形成有作为主要成分的Ta和Nb之一的金属膜。 通过阳极氧化形成覆盖金属布线的绝缘膜。 在金属布线的阳极氧化期间，衬底或保护层中的氮防止了Ta（或Nb）离子进入衬底。 结果，在氧化过程中，基板的绝缘性不会降低。

公开(公告)号：US5287206A

公开(公告)日：1994-02-15

申请号：US798722

申请日：1991-11-27

申请人： Yuzuru Kanemori ,  Masaya Okamoto ,  Katsuhiro Kawai ,  Mitsuaki Hirata ,  Takehisa Sakurai ,  Hideji Marumoto

发明人： Yuzuru Kanemori ,  Masaya Okamoto ,  Katsuhiro Kawai ,  Mitsuaki Hirata ,  Takehisa Sakurai ,  Hideji Marumoto

IPC分类号： G02F1/1362 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1343

CPC分类号： G02F1/136286

摘要： An active matrix display device which includes a pair of insulating substrates, a first group of buses formed on one of the sides of the insulating substrates, a second group of buses crossing the first group of buses, conductive film wirings formed on the second group of buses, wherein the width of each conductive film wiring at stepped portions of the first group of buses is not smaller than that of the conductive film wirings located out of the stepped portions.

摘要翻译： 一种有源矩阵显示装置，包括一对绝缘基板，形成在绝缘基板的一侧上的第一组总线，与第一组总线相交的第二组总线，形成在第二组总线上的导电膜布线 总线，其中，第一组总线的阶梯部分处的每个导电膜布线的宽度不小于位于台阶部分之外的导电膜布线的宽度。