公开(公告)号：US20060177287A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：US10506861

申请日：2003-06-12

申请人： Kung Wu ,  Robert Sifuentes ,  Kenneth Hardy ,  Edgardo Caliboso ,  Anatoly Malobrodsky ,  Chien-Rong Huang

发明人： Kung Wu ,  Robert Sifuentes ,  Kenneth Hardy ,  Edgardo Caliboso ,  Anatoly Malobrodsky ,  Chien-Rong Huang

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6734 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707

摘要： A specially adapted SMIF pod (20) receives and holds one particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) selected from among dozens of different configurations thereof. The SMIF pod (20) may be interrogated to determine the particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) carried therein. A reticle transfer system (50) receives a pair of such SMIF pods (20), interrogates each of the SMIF pods (20) to ascertain which type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) the SMIF pod (20) carries, and automatically moves reticles (42) through a controlled environment from one reticle cassette (36) or reticle holder (32) to another reticle cassette (36) or reticle holder (132). A reticle reorienter (56) includable in the system (50) also permits automatically exchanging reticles (42) between a reticle carrier (144) and a reticle cassette (36) or reticle holder (132).

摘要翻译： 专门适应的SMIF盒（20）接收并保持从其数十种不同配置中选择的一种特定类型的标线盒（36）或标线架支架（132）。 可以询问SMIF盒（20）以确定其中承载的标线盒（36）或标线架（132）的特定类型。 标线片传送系统（50）接收一对这样的SMIF盒（20），询问每个SMIF盒（20）以确定SMIF盒（20）携带的哪种类型的标线盒（36）或标线架（132） 并且自动将标线片（42）通过受控的环境从一个标线盒（36）或标线保持器（32）移动到另一个标线盒（36）或标线架支架（132）。 可在系统（50）中包括的标线重新定向器（56）还允许自动交换标线片载体（144）和标线片盒（36）或标线架支架（132）之间的标线（42）。

公开(公告)号：US07318697B2

公开(公告)日：2008-01-15

申请号：US10506861

申请日：2003-06-12

申请人： Kung Chris Wu ,  Robert Frank Sifuentes ,  Kenneth Alan Hardy ,  Edgardo A. Caliboso ,  Anatoly Malobrodsky ,  Chien-Rong Huang

发明人： Kung Chris Wu ,  Robert Frank Sifuentes ,  Kenneth Alan Hardy ,  Edgardo A. Caliboso ,  Anatoly Malobrodsky ,  Chien-Rong Huang

IPC分类号： H01J5/02

CPC分类号： H01L21/6734 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707

摘要： A specially adapted SMIF pod (20) receives and holds one particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) selected from among dozens of different configurations thereof. The SMIF pod (20) may be interrogated to determine the particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) carried therein. A reticle transfer system (50) receives a pair of such SMIF pods (20), interrogates each of the SMIF pods (20) to ascertain which type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) the SMIF pod (20) carries, and automatically moves reticles (42) through a controlled environment from one reticle cassette (36) or reticle holder (32) to another reticle cassette (36) or reticle holder (132). A reticle reorienter (56) includable in the system (50) also permits automatically exchanging reticles (42) between a reticle carrier (144) and a reticle cassette (36) or reticle holder (132).

摘要翻译： 专门适应的SMIF盒（20）接收并保持从其数十种不同配置中选择的一种特定类型的标线盒（36）或标线架支架（132）。 可以询问SMIF盒（20）以确定其中承载的标线盒（36）或标线架（132）的特定类型。 标线片传送系统（50）接收一对这样的SMIF盒（20），询问每个SMIF盒（20）以确定SMIF盒（20）携带的哪种类型的标线盒（36）或标线架（132） 并且自动将标线片（42）通过受控的环境从一个标线盒（36）或标线保持器（32）移动到另一个标线盒（36）或标线架支架（132）。 可在系统（50）中包括的标线重新定向器（56）还允许自动交换标线片载体（144）和标线片盒（36）或标线架支架（132）之间的标线（42）。