公开(公告)号：US10290500B2

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：US15511416

申请日：2015-12-04

申请人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Andeas Frommhold ,  Alan Brown ,  Tom Lada

发明人： Alex Phillip Graham Robinson ,  Andeas Frommhold ,  Alan Brown ,  Tom Lada

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308 ,  H01L21/311 ,  B05D1/00 ,  B05D3/00 ,  B05D3/02 ,  C09D163/04 ,  C09D177/00 ,  C01B32/152

摘要： Disclosed and claimed herein is a composition for forming a spin-on hard-mask, having a fullerene derivative and a crosslinking agent. Further disclosed is a process for forming a hard-mask.