公开(公告)号：US20090194410A1

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：US12023321

申请日：2008-01-31

申请人： Uwe Schroeder ,  Stefan Jakschik ,  Johannes Heitmann ,  Tim Boescke ,  Annette Saender

发明人： Uwe Schroeder ,  Stefan Jakschik ,  Johannes Heitmann ,  Tim Boescke ,  Annette Saender

IPC分类号： B23H3/06

CPC分类号： H01L28/65

摘要： The present invention refers to an electrode comprising a first metallic layer and a compound comprising at least one of a nitride, oxide, and oxynitride of a second metallic material.

摘要翻译： 本发明涉及包含第一金属层和包含第二金属材料的氮化物，氧化物和氧氮化物中的至少一种的化合物的电极。