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    Perpendicular magnetic recording head having a pole tip formed with a CMP uniformity structure
    1.
    发明授权
    Perpendicular magnetic recording head having a pole tip formed with a CMP uniformity structure 有权
    具有形成有CMP均匀结构的极尖的垂直磁记录头

    公开(公告)号：US08149536B1

    公开(公告)日：2012-04-03

    申请号：US11871672

    申请日：2007-10-12

    申请人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

    发明人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

    IPC分类号： G11B5/127

    CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3169 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

    摘要： A method and system for manufacturing a perpendicular magnetic recording head is disclosed. The method and system include providing a chemical mechanical planarization (CMP) uniformity structure having an aperture therein and forming a perpendicular magnetic recording pole within the aperture. The CMP uniformity structure may include a CMP barrier layer. The method and system further include fabricating an insulator after formation of the perpendicular magnetic recording pole and performing a CMP to remove a portion of the insulator, expose a portion of the perpendicular magnetic recording pole and planarize an exposed surface of the perpendicular magnetic recording head.

    摘要翻译： 公开了用于制造垂直磁记录头的方法和系统。 该方法和系统包括提供其中具有孔的化学机械平面化（CMP）均匀性结构，并在孔内形成垂直的磁记录极。 CMP均匀性结构可以包括CMP阻挡层。 所述方法和系统还包括在形成垂直磁记录极之后制造绝缘体，并执行CMP以去除绝缘体的一部分，暴露垂直磁记录极的一部分并平面化垂直磁记录头的暴露表面。

    Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording head
    3.
    发明授权
    Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording head 失效
    垂直磁记录头的制造方法

    公开(公告)号：US07296339B1

    公开(公告)日：2007-11-20

    申请号：US10936921

    申请日：2004-09-08

    申请人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

    发明人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

    IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

    CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3169 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

    摘要： A method and system for manufacturing a perpendicular magnetic recording head is disclosed. The method and system include providing a chemical mechanical planarization (CMP) uniformity structure having an aperture therein and forming a perpendicular magnetic recording pole within the aperture. The CMP uniformity structure may include a CMP barrier layer. The method and system further include fabricating an insulator after formation of the perpendicular magnetic recording pole and performing a CMP to remove a portion of the insulator, expose a portion of the perpendicular magnetic recording pole and planarize an exposed surface of the perpendicular magnetic recording head.

    摘要翻译： 公开了用于制造垂直磁记录头的方法和系统。 该方法和系统包括提供其中具有孔的化学机械平面化（CMP）均匀性结构，并在孔内形成垂直的磁记录极。 CMP均匀性结构可以包括CMP阻挡层。 所述方法和系统还包括在形成垂直磁记录极之后制造绝缘体，并执行CMP以去除绝缘体的一部分，暴露垂直磁记录极的一部分并平面化垂直磁记录头的暴露表面。

    Method and system for providing a smaller critical dimension magnetic element utilizing a single layer mask
    4.
    发明授权
    Method and system for providing a smaller critical dimension magnetic element utilizing a single layer mask 失效
    用于使用单层掩模提供较小临界尺寸的磁性元件的方法和系统

    公开(公告)号：US07419891B1

    公开(公告)日：2008-09-02

    申请号：US11352652

    申请日：2006-02-13

    申请人： Benjamin Chen ,  Hongping Yuan ,  Danning Yang ,  Wei Zhang ,  Hugh C. Hiner ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    发明人： Benjamin Chen ,  Hongping Yuan ,  Danning Yang ,  Wei Zhang ,  Hugh C. Hiner ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    IPC分类号： H01L21/20

    CPC分类号： H01L43/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G11B5/3906 ,  G11B5/3909

    摘要： The method and system for providing a magnetic element are disclosed. The method and system include providing a magnetic element stack that includes a plurality of layers and depositing a stop layer on the magnetic element stack. The method and system also include providing a dielectric antireflective coating (DARC) layer on the stop layer, forming a single layer mask for defining the magnetic element on a portion of the DARC layer, and removing a remaining portion of the DARC layer not covered by the single layer mask. The portion of the DARC layer covers a portion of the stop layer. The method further includes removing a remaining portion of the stop layer and defining the magnetic element using at least the portion of stop layer as a mask.

    摘要翻译： 公开了用于提供磁性元件的方法和系统。 该方法和系统包括提供包括多个层的磁性元件堆叠并在磁性元件堆叠上沉积停止层。 该方法和系统还包括在停止层上提供介电抗反射涂层（DARC）层，形成用于在DARC层的一部分上限定磁性元件的单层掩模，以及去除DARC层未覆盖的DARC层的剩余部分 单层面膜。 DARC层的一部分覆盖停止层的一部分。 该方法还包括使用停止层的至少一部分作为掩模去除停止层的剩余部分并限定磁性元件。

    Magnetic recording head formed by damascene process
    6.
    发明授权
    Magnetic recording head formed by damascene process 有权
    磁记录头由镶嵌工艺形成

    公开(公告)号：US08018677B1

    公开(公告)日：2011-09-13

    申请号：US11923043

    申请日：2007-10-24

    申请人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    发明人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    IPC分类号： G11B5/127

    CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

    摘要： A method and system for manufacturing a pole for a magnetic recording head. The method and system include providing an insulator and fabricating at least one hard mask on the insulator. The at least one hard mask has an aperture therein. The method and system also include removing a portion of the insulator to form a trench within the insulator. The trench is formed under the aperture. The method and system further include depositing at least one ferromagnetic material. The pole includes a portion of the ferromagnetic material within the trench.

    摘要翻译： 一种用于制造用于磁记录头的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括提供绝缘体并在绝缘体上制造至少一个硬掩模。 至少一个硬掩模在其中具有孔。 该方法和系统还包括去除绝缘体的一部分以在绝缘体内形成沟槽。 沟槽形成在孔下面。 所述方法和系统还包括沉积至少一种铁磁材料。 极包括沟槽内的铁磁材料的一部分。

    Damascene process for fabricating poles in recording heads
    7.
    发明授权
    Damascene process for fabricating poles in recording heads 有权
    用于在记录头中制造磁极的镶嵌工艺

    公开(公告)号：US07444740B1

    公开(公告)日：2008-11-04

    申请号：US11047401

    申请日：2005-01-31

    申请人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    发明人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

    IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

    CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

    摘要： A method and system for manufacturing a pole for a magnetic recording head. The method and system include providing an insulator and fabricating at least one hard mask on the insulator. The at least one hard mask has an aperture therein. The method and system also include removing a portion of the insulator to form a trench within the insulator. The trench is formed under the aperture. The method and system further include depositing at least one ferromagnetic material. The pole includes a portion of the ferromagnetic material within the trench.

    摘要翻译： 一种用于制造用于磁记录头的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括提供绝缘体并在绝缘体上制造至少一个硬掩模。 至少一个硬掩模在其中具有孔。 该方法和系统还包括去除绝缘体的一部分以在绝缘体内形成沟槽。 沟槽形成在孔下面。 所述方法和系统还包括沉积至少一种铁磁材料。 极包括沟槽内的铁磁材料的一部分。