公开(公告)号：US5838012A

公开(公告)日：1998-11-17

申请号：US822543

申请日：1997-03-19

申请人： Marvin LaFontaine ,  Nobuhiro Tokoro ,  Victor Quattrini ,  Daniel Bissonnette ,  Takao Sakase

发明人： Marvin LaFontaine ,  Nobuhiro Tokoro ,  Victor Quattrini ,  Daniel Bissonnette ,  Takao Sakase

IPC分类号： G21K1/14 ,  H01J37/317 ,  H01J27/00

CPC分类号： H01J37/3171 ,  G21K1/14 ,  H01J2237/08

摘要： A charge exchange cell for ion implanters employing a tandem accelerator has a hollow-wall construction with a heating element inserted inside the hollow wall.

摘要翻译： 用于使用串联加速器的离子注入机的电荷交换单元具有中空壁结构，其中加热元件插入中空壁内。