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公开(公告)号：US5876794A
公开(公告)日：1999-03-02
申请号：US765375
申请日：1997-04-14
申请人： Daniel Huet
发明人： Daniel Huet
CPC分类号： B22F9/082 , B01J2/006 , B01J2/02 , B22F9/08 , B22F2009/0808 , B22F2009/084 , B22F2009/0868
摘要： The invention relates to a process for atomizing a dispersible liquid material or a mixture of dispersible liquid materials, characterized in that the dispersible liquid material (3) or the mixture is dispersed in the form of particles (7) by spraying at least one stream of solid particles (6) which are reactive as a result of their partial or total coating onto the material and the particles (7) are collected in a receiving medium.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR95 / 00824 Sec。 371日期1997年04月14日 102（e）日期1997年4月14日PCT归档1995年6月21日PCT公布。 公开号WO95 / 35158 日期1995年12月28日本发明涉及一种雾化可分散液体材料或可分散液体材料混合物的方法，其特征在于可分散液体材料（3）或混合物通过喷雾以颗粒（7）的形式分散 作为其部分或全部涂覆在材料和颗粒（7）上的反应性的固体颗粒（6）的至少一个流被收集在接收介质中。
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2.发明授权Molecular beam generator using thermal decomposition for manufacturing semiconductors by epitaxy 失效使用热分解的分子束发生器通过外延制造半导体
公开(公告)号：US4699083A
公开(公告)日：1987-10-13
申请号：US801998
申请日：1985-11-25
申请人： Daniel Huet , Marc Lambert
发明人： Daniel Huet , Marc Lambert
IPC分类号： H05H3/02 , C30B23/02 , C30B23/06 , H01L21/203 , H01L21/205 , C23C16/52
摘要： Arsine or phosphine are thermally decomposed to form a molecular beam of arsenic or phosphorous by using the inside surfaces of a thermal decomposition duct (11) made of quartz or of boron nitride and heated on the outside by radiation from a filament (30). Pierced internal partitions (6a, 6b, 6c, 6d) having successive circumferentially offset holes (6p, 6q, 6r, 6s) increase the decomposition surface area and prevent a molecule from passing through the duct along a straight line.
摘要翻译： 通过使用由石英或氮化硼制成的热分解管道（11）的内表面将胂或膦热分解形成砷或磷的分子束，并通过来自灯丝（30）的辐射在外部加热。 具有连续周向偏置孔（6p，6q，6r，6s）的穿孔内部隔板（6a，6b，6c，6d）增加分解表面积并防止分子沿直线穿过管道。
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