公开(公告)号：US07773232B2

公开(公告)日：2010-08-10

申请号：US11755063

申请日：2007-05-30

申请人： Peter Weidner ,  Alexander Kasic ,  Elke Gehring

发明人： Peter Weidner ,  Alexander Kasic ,  Elke Gehring

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01N21/956 ,  G01N21/21 ,  G01N21/274 ,  G01N21/41 ,  G01N21/55

摘要： An apparatus includes an evaluating unit and a peak detection unit. The peak detection unit is configured to determine at least one peak parameter of a peak in a Fourier transformed reflection spectrum of infrared radiation reflected off a sample that may comprise trench structures. The evaluation unit is configured to determine from the at least one peak parameter and from a correction value containing information about an effective refractive index of the sample, a trench parameter of the trench structures.

摘要翻译： 一种装置包括评估单元和峰值检测单元。 峰值检测单元被配置为确定从可能包括沟槽结构的样品反射的红外辐射的傅立叶变换反射光谱中的峰值的至少一个峰值参数。 评估单元被配置为根据至少一个峰值参数和从包含样本的有效折射率的信息的修正值确定沟槽结构的沟槽参数。

公开(公告)号：US20080297765A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：US11755063

申请日：2007-05-30

申请人： Peter Weidner ,  Alexander Kasic ,  Elke Gehring

发明人： Peter Weidner ,  Alexander Kasic ,  Elke Gehring

IPC分类号： G01J3/00

CPC分类号： G01N21/956 ,  G01N21/21 ,  G01N21/274 ,  G01N21/41 ,  G01N21/55

摘要： An apparatus includes an evaluating unit and a peak detection unit. The peak detection unit may be configured to determine at least one peak parameter of a peak in a Fourier transformed reflection spectrum of infrared radiation reflected off a sample that may comprise trench structures. The evaluation unit may be configured to determine from the at least one peak parameter and from a correction value containing information about an effective refractive index of the sample, a trench parameter of the trench structures.

摘要翻译： 一种装置包括评估单元和峰值检测单元。 峰值检测单元可以被配置为确定从可能包括沟槽结构的样品反射的红外辐射的傅立叶变换反射光谱中的峰值的至少一个峰值参数。 评估单元可以被配置为根据至少一个峰值参数和从包含关于样品的有效折射率的信息的修正值确定沟槽结构的沟槽参数。