公开(公告)号：US20120273097A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：US13546705

申请日：2012-07-11

申请人： Chi tse Wu ,  Wuwen Yi ,  Frederick B. Hidden ,  Susan D. Strothers

发明人： Chi tse Wu ,  Wuwen Yi ,  Frederick B. Hidden ,  Susan D. Strothers

IPC分类号： C22F1/08 ,  C21D8/00

CPC分类号： H01J37/3423 ,  B21J5/00 ,  B21J5/02 ,  B21K21/00 ,  B22D7/00 ,  B22D27/08 ,  C22F1/00 ,  C22F1/08 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3408

摘要： The invention encompasses a method of forming a metallic article. An ingot of metallic material is provided, and such ingot has an initial thickness. The ingot is subjected to hot forging. The product of the hot forging is quenched to fix an average grain size of less than 250 microns within the metallic material. The quenched material can be formed into a three dimensional physical vapor deposition target. The invention also includes a method of forming a cast ingot. In particular aspects, the cast ingot is a high-purity copper material. The invention also includes physical vapor deposition targets, and magnetron plasma sputter reactor assemblies.

摘要翻译： 本发明包括形成金属制品的方法。 提供金属材料锭，这种锭具有初始厚度。 铸锭经受热锻。 将热锻的产品淬火以在金属材料内固定小于250微米的平均粒度。 淬火材料可以形成三维物理气相沉积靶。 本发明还包括一种形成铸锭的方法。 在特定方面，铸锭是高纯度铜材料。 本发明还包括物理气相沉积靶和磁控管等离子体溅射反应器组件。