公开(公告)号：US4808373A

公开(公告)日：1989-02-28

申请号：US921235

申请日：1986-10-20

申请人： Dieter Hoffman ,  Wolf-Dieter Munz ,  G. A. Hoist Siewert ,  Horst Dietrich

发明人： Dieter Hoffman ,  Wolf-Dieter Munz ,  G. A. Hoist Siewert ,  Horst Dietrich

IPC分类号： C22C5/02 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3429 ,  C22C5/02 ,  H01J37/34

摘要： A multiple-substance alloy used as a target in a cathode sputtering apparatus, and having a gold content most preferably in the range of 94-98 percent by weight, is disclosed. The alloy further contains non-gold alloys of aluminum, copper and preferably an element of the group of Co, Ni, Ga, Ti, In, Cd, Sn, Fe and Pd.

摘要翻译： 公开了一种在阴极溅射装置中用作靶的多金属合金，并且金含量最优选在94-98重量％的范围内。 该合金还含有铝，铜的非金合金，优选Co，Ni，Ga，Ti，In，Cd，Sn，Fe和Pd中的一种元素。