公开(公告)号：US20060195212A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11247373

申请日：2005-10-11

申请人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

发明人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31336 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： An automated throughput control system and method is provided. By gathering tool specific information of a plurality of process tools on entity level, appropriate throughput related performance characteristics may be calculated with high statistical significance during moderately short time intervals. Moreover, the performance characteristics obtained from tool information may be compared to reference data, for instance provided by dynamic simulation calculations, to identify high, as well as low, performing equipment on the basis of standard process control mechanisms.

摘要翻译： 提供了一种自动化吞吐量控制系统和方法。 通过在实体层面收集多个处理工具的工具特定信息，可以在适度的短时间间隔期间以高统计学意义来计算适当的吞吐量相关性能特征。 此外，从工具信息获得的性能特征可以与例如通过动态模拟计算提供的参考数据进行比较，以基于标准过程控制机制来识别高性能以及低的执行设备。

公开(公告)号：US20090292385A1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：US12511719

申请日：2009-07-29

申请人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

发明人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31336 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： An automated throughput control system and method is provided. By gathering tool specific information of a plurality of process tools on entity level, appropriate throughput related performance characteristics may be calculated with high statistical significance during moderately short time intervals. Moreover, the performance characteristics obtained from tool information may be compared to reference data, for instance provided by dynamic simulation calculations, to identify high, as well as low, performing equipment on the basis of standard process control mechanisms.

摘要翻译： 提供了一种自动化吞吐量控制系统和方法。 通过在实体层面收集多个处理工具的工具特定信息，可以在适度的短时间间隔期间以高统计学意义来计算适当的吞吐量相关性能特征。 此外，从工具信息获得的性能特征可以与例如通过动态模拟计算提供的参考数据进行比较，以基于标准过程控制机制来识别高性能以及低的执行设备。

公开(公告)号：US07783372B2

公开(公告)日：2010-08-24

申请号：US12511719

申请日：2009-07-29

申请人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

发明人： Gunnar Flach ,  Thomas Quarg

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31336 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： An automated throughput control system and method is provided. By gathering tool specific information of a plurality of process tools on entity level, appropriate throughput related performance characteristics may be calculated with high statistical significance during moderately short time intervals. Moreover, the performance characteristics obtained from tool information may be compared to reference data, for instance provided by dynamic simulation calculations, to identify high, as well as low, performing equipment on the basis of standard process control mechanisms.

摘要翻译： 提供了一种自动化吞吐量控制系统和方法。 通过在实体层面收集多个处理工具的工具特定信息，可以在适度的短时间间隔期间以高统计学意义来计算适当的吞吐量相关性能特征。 此外，从工具信息获得的性能特征可以与例如通过动态模拟计算提供的参考数据进行比较，以基于标准过程控制机制来识别高性能以及低的执行设备。