公开(公告)号：US20060021571A1

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：US10901284

申请日：2004-07-28

申请人： Sheng-Hsiung Tseng ,  Yao-Pin Huang ,  Ming-Huang Wu ,  Chang-Jung Su ,  Stone Shyr ,  Yuan-Hung Chang ,  He-Ming Chuang

发明人： Sheng-Hsiung Tseng ,  Yao-Pin Huang ,  Ming-Huang Wu ,  Chang-Jung Su ,  Stone Shyr ,  Yuan-Hung Chang ,  He-Ming Chuang

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4412 ,  F16L53/35 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32834

摘要： A vacuum pump line for a process chamber is disclosed. The vacuum pump line includes a pump line wall and a heater layer comprising a nickel-chromium alloy surrounding the pump line wall for heating the pump line wall. A method for fabricating a pump line for a process chamber is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种用于处理室的真空泵管线。 真空泵管线包括泵管壁和包括围绕泵管壁的镍 - 铬合金的加热器层，用于加热泵管壁。 还公开了一种用于制造处理室的泵管线的方法。