公开(公告)号：US5811804A

公开(公告)日：1998-09-22

申请号：US682601

申请日：1996-08-12

申请人： Clemens Antoni Van Blitterswijk ,  Hendrick Klaas Koerten ,  Jan Greve

发明人： Clemens Antoni Van Blitterswijk ,  Hendrick Klaas Koerten ,  Jan Greve

IPC分类号： G01N21/65 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/228 ,  G01N21/65 ,  H01J37/226 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  G01N2021/656 ,  H01J2237/2445

摘要： Electron microscope provided, in the direction of the longitudinal axis, with at least one electron beam generation system, a condenser and objective lens system, a specimen chamber with a specimen mount, a projection lens system with imaging screen for the purpose of transmission electron microscopy (TEM) and/or an electron detector for the purpose of scanning electron microscopy (SEM) . The microscope is used in combination with an externally positioned Raman spectrometer and an associated light source for injecting and extracting, via a window in the microscope wall, a light beam to be directed at the specimen, and specimen-related Raman radiation, respectively. In the specimen chamber, a light beam and Raman radiation guide system is provided with an optical guide to guide the light beam to--and the Raman radiation from--the specimen. The guide system and the specimen mount are displaceable with respect to one another for mutual alignment of the specimen and the optical axis of the Raman spectrometer.

摘要翻译： PCT No.PCT / NL95 / 00033 Sec。 371日期：1996年8月12日 102（e）日期1996年8月12日PCT提交1995年1月24日PCT公布。 公开号WO95 / 20242 日期1995年7月27日电子显微镜在纵向方向上提供至少一个电子束产生系统，冷凝器和物镜系统，具有样本座的样本室，具有成像屏幕的投影透镜系统 用于扫描电子显微镜（SEM）的透射电子显微镜（TEM）和/或电子检测器的目的。 显微镜与外部定位的拉曼光谱仪和相关联的光源结合使用，用于通过显微镜壁中的窗口分别注射和提取指向样品的光束和与样品相关的拉曼辐射。 在样本室中，光束和拉曼辐射导向系统设置有光引导件，以将光束引导到来自样本的拉曼辐射。 引导系统和样本支架可相对于彼此移位，以使样本与拉曼光谱仪的光轴相互对准。