公开(公告)号：US20110256724A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：US13083827

申请日：2011-04-11

申请人： Ramesh Chandrasekharan ,  Antonio Xavier ,  Kevin Jennings ,  Ming Li ,  Henri Jon ,  Dennis Hausmann

发明人： Ramesh Chandrasekharan ,  Antonio Xavier ,  Kevin Jennings ,  Ming Li ,  Henri Jon ,  Dennis Hausmann

IPC分类号： H01L21/311 ,  B67D7/06 ,  B67D7/14

CPC分类号： C23C16/4481 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45557 ,  C23C16/52

摘要： A liquid injection system for a processing chamber includes a liquid injector that receives a liquid from a liquid supply and that selectively pulses the liquid into a conduit. A control module selects a number of pulses and a pulse width of the liquid injector. A gas supply supplies gas into the conduit. A sensor senses at least one of a first temperature and a first pressure in the conduit and that generates at least one of a first temperature signal and a first pressure signal, respectively. The control module confirms that the selected number of pulses occur based on the at least one of the first temperature signal and the first pressure signal.

摘要翻译： 用于处理室的液体注入系统包括液体注入器，该液体注入器从液体供应器接收液体并且选择性地将液体脉冲到导管中。 控制模块选择液体喷射器的脉冲数和脉冲宽度。 气体供应将气体供应到管道中。 传感器感测导管中的第一温度和第一压力中的至少一个，并分别产生第一温度信号和第一压力信号中的至少一个。 控制模块确认基于第一温度信号和第一压力信号中的至少一个发生所选择的脉冲数。