公开(公告)号：US20050034200A1

公开(公告)日：2005-02-10

申请号：US10731866

申请日：2003-12-09

Applicant: Carlo Montemagno ,  Hercules Neves

Inventor： Carlo Montemagno ,  Hercules Neves

IPC: A61M37/00 ,  B81B1/00 ,  A61L2/00 ,  B05D3/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: A61M37/0015 ,  A61M2037/003 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2205/0244 ,  Y10S977/721 ,  Y10S977/92 ,  Y10S977/962

Abstract: A nanosyringe is constructed using micro fabrication and nano fabrication techniques on a silicon substrate. The nanosyringe includes a membrane of silicon carbide. The position and operation of individual nanosyringes, arranged in an array of nanosyringes, can be independently controlled. A nanosyringe array can inject or extract a fluid from one or more cells or other structures. Microfluidic structures coupled to the nanosyringe allow external pumping or extraction. A cell matrix or organelles of individual cells can be non-destructively sampled in real time.

Abstract translation: 在硅衬底上使用微制造和纳米制造技术构建纳米注射器。 纳米注射器包括碳化硅膜。 排列成纳米注射器阵列的单个纳米注射器的位置和操作可以独立控制。 纳米注射器阵列可以从一个或多个细胞或其它结构注射或提取流体。 耦合到纳米注射器的微流体结构允许外部泵送或提取。 单个细胞的细胞基质或细胞器可以实时非破坏性地取样。

公开(公告)号：US06767614B1

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：US10021311

申请日：2001-12-19

Applicant: Wolfgang M. J. Hofmann ,  Hercules Neves ,  Noel C. MacDonald ,  Scott G. Adams

Inventor： Wolfgang M. J. Hofmann ,  Hercules Neves ,  Noel C. MacDonald ,  Scott G. Adams

IPC: B32B300

CPC classification number: B81C1/0015 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  B81C2201/0112 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0198 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/24273 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/24744 ,  Y10T428/24802

Abstract: Improved fabrication processes for microelectromechanical structures, and unique structures fabricated by the improved processes are disclosed. In its simplest form, the fabrication process is a modification of the know SCREAM process, extended and used in such a way as to produce a combined vertical etch and release RIE process, which may be referred to as a “combination etch”. Fabrication of a single-level micromechanical structure using the process of the present invention includes a novel dry etching process to shape and release suspended single crystal silicon elements, the process combining vertical silicon reactive ion etching (Si-RIE) and release etches to eliminate the need to deposit and pattern silicon dioxide mask layers on the sides of suspended structures and to reduce the mechanical stresses in suspended structures caused by deposited silicon dioxide films.

Abstract translation: 公开了用于微机电结构的改进的制造工艺和通过改进的工艺制造的独特结构。 在其最简单的形式中，制造工艺是对已知SCREAM工艺的修改，扩展并以这样的方式使用，以便产生可被称为“组合蚀刻”的组合垂直蚀刻和释放RIE工艺。 使用本发明的方法制造单级微机械结构包括形成和释放悬浮的单晶硅元件的新型干蚀刻工艺，将垂直硅反应离子蚀刻（Si-RIE）和释放蚀刻相组合的工艺消除 需要在悬浮结构的两侧沉积并排列二氧化硅掩模层，并降低由沉积的二氧化硅膜引起的悬浮结构中的机械应力。

公开(公告)号：US06686299B2

公开(公告)日：2004-02-03

申请号：US10178056

申请日：2002-06-21

Applicant: Carlo D. Montemagno ,  Hercules Neves

Inventor： Carlo D. Montemagno ,  Hercules Neves

IPC: H01L2100

CPC classification number: A61M37/0015 ,  A61M2037/003 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2205/0244 ,  Y10S977/721 ,  Y10S977/92 ,  Y10S977/962

Abstract: A nanosyringe is constructed using micro fabrication and nano fabrication techniques on a silicon substrate. The nanosyringe includes a membrane of silicon carbide. The position and operation of individual nanosyringes, arranged in an array of nanosyringes, can be independently controlled. A nanosyringe array can inject or extract a fluid from one or more cells or other structures. Microfluidic structures coupled to the nanosyringe allow external pumping or extraction. A cell matrix or organelles of individual cells can be non-destructively sampled in real time.

Abstract translation: 在硅衬底上使用微制造和纳米制造技术构建纳米注射器。 纳米注射器包括碳化硅膜。 排列成纳米注射器阵列的单个纳米注射器的位置和操作可以独立控制。 纳米注射器阵列可以从一个或多个细胞或其它结构注射或提取流体。 耦合到纳米注射器的微流体结构允许外部泵送或提取。 单个细胞的细胞基质或细胞器可以实时非破坏性地取样。