公开(公告)号：US06776042B2

公开(公告)日：2004-08-17

申请号：US10058210

申请日：2002-01-25

申请人： William Thomas Pike ,  Ian Maxwell Standley ,  Amadej Trnkoczy

发明人： William Thomas Pike ,  Ian Maxwell Standley ,  Amadej Trnkoczy

IPC分类号： G01P15125

CPC分类号： G01V1/184 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/131 ,  G01P15/132 ,  G01P2015/082

摘要： The present invention is a seismometer/velocimeter, and can be also made to function as an accelerometer. The invention comprises an in-plane suspension geometry combined with a transverse periodic-sensing-array position transducer. The invention can incorporate a feedback actuator of magnetic design, incorporating fixed magnets and planar coils on the surface of the proof mass allowing for much lower noise than an equivalent electrostatic actuator without requiring high voltages. The invention may also have a dual-axis configuration by using two sets of springs. The nested suspensions allow the proof mass to move in two orthogonal directions. A three-axis configuration is possible by combining the dual-axis version with sensing and actuation of the proof mass motion out of the plane. The position sensing for the out-of-plane motion can be made using schemes common in existing state-of-the-art sensors. Actuation for the sensors may be electrostatic or electromagnetic in each of the axis.

摘要翻译： 本发明是一种地震计/速度计，也可以作为加速度计。 本发明包括与横向周期性感测阵列位置传感器组合的平面内悬架几何形状。 本发明可以包括磁性设计的反馈致动器，在固体磁体表面上并入固定磁体和平面线圈，其允许比不需要高电压的等效静电致动器低得多的噪声。 本发明还可以通过使用两组弹簧具有双轴构型。 嵌套悬挂允许检验质量在两个正交方向上移动。 通过将双轴版本与传感和驱动平面中的质量质量运动相结合，可以实现三轴配置。 可以使用现有的现有技术传感器中常见的方案来进行平面外运动的位置检测。 传感器的驱动可以是每轴中的静电或电磁。