公开(公告)号：US20110133176A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：US12923089

申请日：2010-09-01

申请人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

发明人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

IPC分类号： H01L29/12

CPC分类号： H01L29/78606 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869 ,  H01L29/78696

摘要： Transistors and electronic apparatuses including the same are provided, the transistors include a channel layer on a substrate. The channel layer includes a zinc (Zn)-containing oxide. The transistors include a source and a drain, respectively, contacting opposing ends of the channel layer, a gate corresponding to the channel layer, and a gate insulating layer insulating the channel layer from the gate. The channel layer has a first surface adjacent to the substrate, a second surface facing the first surface, and a channel layer-protection portion on the second surface. The channel layer-protection portion includes a fluoride material.

摘要翻译： 提供了包括它们的晶体管和电子设备，晶体管包括在衬底上的沟道层。 沟道层包括含锌（Zn）的氧化物。 晶体管分别包括与沟道层的相对端接触的源极和漏极，对应于沟道层的栅极以及将沟道层与栅极绝缘的栅极绝缘层。 沟道层具有与基板相邻的第一表面，与第一表面相对的第二表面和在第二表面上的沟道层保护部分。 沟道层保护部分包括氟化物材料。

公开(公告)号：US08426852B2

公开(公告)日：2013-04-23

申请号：US12923089

申请日：2010-09-01

申请人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

发明人： Jae-cheol Lee ,  Chang-seung Lee ,  Jae-gwan Chung ,  Eun-ha Lee ,  Anass Benayad ,  Sang-wook Kim ,  Se-jung Oh

IPC分类号： H01L29/12

CPC分类号： H01L29/78606 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869 ,  H01L29/78696

摘要： Transistors and electronic apparatuses including the same are provided, the transistors include a channel layer on a substrate. The channel layer includes a zinc (Zn)-containing oxide. The transistors include a source and a drain, respectively, contacting opposing ends of the channel layer, a gate corresponding to the channel layer, and a gate insulating layer insulating the channel layer from the gate. The channel layer has a first surface adjacent to the substrate, a second surface facing the first surface, and a channel layer-protection portion on the second surface. The channel layer-protection portion includes a fluoride material.

摘要翻译： 提供了包括它们的晶体管和电子设备，晶体管包括在衬底上的沟道层。 沟道层包括含锌（Zn）的氧化物。 晶体管分别包括与沟道层的相对端接触的源极和漏极，对应于沟道层的栅极以及将沟道层与栅极绝缘的栅极绝缘层。 沟道层具有与基板相邻的第一表面，与第一表面相对的第二表面和在第二表面上的沟道层保护部分。 沟道层保护部分包括氟化物材料。