公开(公告)号：US20070062452A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11602134

申请日：2006-11-20

申请人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

发明人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01J37/321 ,  H01J37/32495 ,  H01J37/3408

摘要： A coil has an integral fastener portion to facilitate fastening the coil to a shield wall to reduce generation of particulates.

摘要翻译： 线圈具有一体的紧固件部分，以便于将线圈紧固到屏蔽壁以减少微粒的产生。