公开(公告)号：US5083364A

公开(公告)日：1992-01-28

申请号：US466374

申请日：1990-03-20

申请人： Herbert Olbrich ,  Joseph Gentischer ,  Wolfgang Fruhauf ,  Johann Dorner ,  Gunther Breitschwerdt ,  Horst Kunze-Concewitz ,  Wolfgang Schmutz ,  Roland Mann

发明人： Herbert Olbrich ,  Joseph Gentischer ,  Wolfgang Fruhauf ,  Johann Dorner ,  Gunther Breitschwerdt ,  Horst Kunze-Concewitz ,  Wolfgang Schmutz ,  Roland Mann

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  G05B2219/25005 ,  Y10T29/5136

摘要： A system for manufacturing substrates, in particular wafers, glass masks, and channels, having individual process stations for treating and/or processing the various substrates in a clean environment. A plurality of interchangeable and aligned process modules are provided which are connected and disconnected from a media bus in which inflow and outflow lines are situated. These lines serve to supply the process modules through the noted connection with chemicals, gases, liquids, data and energy as needed.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP88 / 00936 Sec。 371 1990年3月20日第 102（e）1990年3月20日PCT PCT日期：1988年10月19日PCT公布。 第WO89 / 04053号公报 日本1989年5月5日。一种用于制造衬底，特别是晶片，玻璃掩模和通道的系统，具有用于在干净环境中处理和/或处理各种衬底的各个工艺站。 提供了多个可互换和对准的处理模块，其与流入和流出管线所在的介质总线连接和断开。 这些线路用于通过与化学品，气体，液体，数据和能量的注意连接来提供过程模块。

公开(公告)号：US07134825B1

公开(公告)日：2006-11-14

申请号：US10009218

申请日：2000-04-13

申请人： Wolfgang Schmutz ,  Joseph Gentischer

发明人： Wolfgang Schmutz ,  Joseph Gentischer

IPC分类号： B65G65/00

CPC分类号： H01L21/67769 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/14

摘要： A device (10) for handling substrates (11) inside and outside a clean room (15) is provided with a locking transfer device (17), by which means a substrate cassette (12) that is accommodated in a box (13) in clean-room conditions can be removed from or placed in said box (13); and with a first handling device (51), by which means the substrates (11) can be placed in or removed from the cassette (12). According to the invention, a storage area (20) for a plurality of cassette boxes (13) is positioned on or above the clean room (15) and the locking transfer device (17) is provided between the storage area (20) and the clean room (15), so that various work and production steps can be combined in such a way as to save space.

摘要翻译： 用于处理洁净室（15）内部和外部的基板（11）的装置（10）设置有锁定传送装置（17），通过该锁定传送装置（17），容纳在盒（13）中的基板盒（12） 清洁室条件可以从所述盒子（13）中移除或放置在所述盒子（13）中。 并且具有第一处理装置（51），通过该装置，可以将基板（11）放置在盒子（12）中或从盒子（12）移除。 根据本发明，用于多个盒式盒（13）的存储区域（20）位于洁净室（15）上或上方，并且锁定传送装置（17）设置在存储区域（20）和 洁净室（15），使各种工作和生产步骤结合起来，节省空间。