公开(公告)号：US5083364A

公开(公告)日：1992-01-28

申请号：US466374

申请日：1990-03-20

申请人： Herbert Olbrich ,  Joseph Gentischer ,  Wolfgang Fruhauf ,  Johann Dorner ,  Gunther Breitschwerdt ,  Horst Kunze-Concewitz ,  Wolfgang Schmutz ,  Roland Mann

发明人： Herbert Olbrich ,  Joseph Gentischer ,  Wolfgang Fruhauf ,  Johann Dorner ,  Gunther Breitschwerdt ,  Horst Kunze-Concewitz ,  Wolfgang Schmutz ,  Roland Mann

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  G05B2219/25005 ,  Y10T29/5136

摘要： A system for manufacturing substrates, in particular wafers, glass masks, and channels, having individual process stations for treating and/or processing the various substrates in a clean environment. A plurality of interchangeable and aligned process modules are provided which are connected and disconnected from a media bus in which inflow and outflow lines are situated. These lines serve to supply the process modules through the noted connection with chemicals, gases, liquids, data and energy as needed.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP88 / 00936 Sec。 371 1990年3月20日第 102（e）1990年3月20日PCT PCT日期：1988年10月19日PCT公布。 第WO89 / 04053号公报 日本1989年5月5日。一种用于制造衬底，特别是晶片，玻璃掩模和通道的系统，具有用于在干净环境中处理和/或处理各种衬底的各个工艺站。 提供了多个可互换和对准的处理模块，其与流入和流出管线所在的介质总线连接和断开。 这些线路用于通过与化学品，气体，液体，数据和能量的注意连接来提供过程模块。