公开(公告)号：US20100026421A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：US12501272

申请日：2009-07-10

申请人： Jozef Thomas BEEK ,  Johannes Van WINGERDEN ,  Wim Van den EINDEN ,  Kim Phan LE ,  Gerhard KOOPS ,  Cas Van der AVOORT

发明人： Jozef Thomas BEEK ,  Johannes Van WINGERDEN ,  Wim Van den EINDEN ,  Kim Phan LE ,  Gerhard KOOPS ,  Cas Van der AVOORT

IPC分类号： H01P7/10 ,  H01L21/302

CPC分类号： H01P7/00

摘要： A MEMS resonator, comprising a planar resonator body formed of two different materials with opposite sign temperature coefficient of Young's modulus. A first portion of one material extends across the full thickness of the resonator body. This provides a design which allows reduced temperature drift.

摘要翻译： 一种MEMS谐振器，包括由具有相反符号温度系数杨氏模量的两种不同材料形成的平面谐振器本体。 一种材料的第一部分延伸穿过谐振器本体的整个厚度。 这提供了允许降低温度漂移的设计。

公开(公告)号：US08143971B2

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：US12501272

申请日：2009-07-10

申请人： Jozef Thomas Beek ,  Johannes van Wingerden ,  Wim van den Einden ,  Kim Phan Le ,  Gerhard Koops ,  Cas van der Avoort

发明人： Jozef Thomas Beek ,  Johannes van Wingerden ,  Wim van den Einden ,  Kim Phan Le ,  Gerhard Koops ,  Cas van der Avoort

IPC分类号： H03H9/02 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01P7/00

摘要： A MEMS resonator, comprising a planar resonator body formed of two different materials with opposite sign temperature coefficient of Young's modulus. A first portion of one material extends across the full thickness of the resonator body. This provides a design which allows reduced temperature drift.

摘要翻译： 一种MEMS谐振器，包括由具有相反符号温度系数杨氏模量的两种不同材料形成的平面谐振器本体。 一种材料的第一部分延伸穿过谐振器本体的整个厚度。 这提供了允许降低温度漂移的设计。