公开(公告)号：US5642183A

公开(公告)日：1997-06-24

申请号：US294351

申请日：1994-08-23

申请人： Takashi Sugihara ,  Takashi Fukushima ,  Junkou Takagi

发明人： Takashi Sugihara ,  Takashi Fukushima ,  Junkou Takagi

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B27/42 ,  G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70091 ,  G03F7/701 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70308

摘要： A spatial filter used in a reduction-type projection printing apparatus includes a central region through which a light beam passes at transmittance of at most a prescribed value, a substantially transparent peripheral region which surrounds the central region, and a phase shifter for producing phase difference of 180.degree. between light beams passing through the central region and the peripheral region.

摘要翻译： 在还原型投影印刷装置中使用的空间滤光器包括光束以最多规定值的透射率通过的中心区域，围绕中央区域的实质上透明的周边区域，以及用于产生相位差的移相器 在通过中心区域的光束与周边区域之间为180°。

公开(公告)号：US5396311A

公开(公告)日：1995-03-07

申请号：US118812

申请日：1993-09-10

申请人： Takashi Fukushima ,  Takashi Sugihara ,  Junkou Takagi

发明人： Takashi Fukushima ,  Takashi Sugihara ,  Junkou Takagi

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03B27/72 ,  G03B27/32 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/701

摘要： A filter for use in a projection photolithographic system comprising:a circular light-impervious part for screening substantially 100% on the pupil of a projection lens the 0th-order diffracted light of a pattern to be projected on a substrate;a ring-like translucent part concentrically contacting the periphery of the circular light-impervious part to transmit on the pupil part of the 0th-order diffracted light and the +1st- or the -1st-order diffracted light of the pattern; anda ring-like light-pervious part concentrically contacting the periphery of the ring-like translucent part to transmit substantially 100% on the pupil the .+-.1st-order diffracted light of the pattern.

摘要翻译： 一种用于投影光刻系统的滤光器，包括：圆形不透光部分，用于基本上在投影透镜的瞳孔上屏蔽待投影在图案上的图案的0级衍射光; 与圆形不透光部分的周边同心接触的环状半透明部分，以在图案的0级衍射光和+ 1级或-1级衍射光的瞳孔部分上传播; 以及环状透光部分，其同心地接触环状半透明部分的周边，以使瞳孔上的基本上100％的图案的+/- 1次衍射光。