公开(公告)号：US20070198211A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11788735

申请日：2007-04-20

申请人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Michael Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

发明人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Michael Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/00

摘要： Specific wavelengths to use in optical metrology of an integrated circuit can be selected using one or more selection criteria and termination criteria. Wavelengths are selected using the selection criteria, and the selection of wavelengths is iterated until the termination criteria are met.

公开(公告)号：US07474993B2

公开(公告)日：2009-01-06

申请号：US11788735

申请日：2007-04-20

申请人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Michael Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

发明人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Michael Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

IPC分类号： G01R13/00 ,  G01R31/26

CPC分类号： G01B11/00

摘要： Specific wavelengths to use in optical metrology of an integrated circuit can be selected using one or more selection criteria and termination criteria. Wavelengths are selected using the selection criteria, and the selection of wavelengths is iterated until the termination criteria are met.

摘要翻译： 可以使用一个或多个选择标准和终止标准来选择用于集成电路的光学测量的特定波长。 使用选择标准选择波长，并重复选择波长，直到满足终止标准。

公开(公告)号：US07216045B2

公开(公告)日：2007-05-08

申请号：US10162516

申请日：2002-06-03

申请人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Mike Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

发明人： Srinivas Doddi ,  Lawrence Lane ,  Vi Vuong ,  Mike Laughery ,  Junwei Bao ,  Kelly Barry ,  Nickhil Jakatdar ,  Emmanuel Drege

IPC分类号： G01R13/00 ,  G01R31/26

CPC分类号： G01B11/00

摘要： Specific wavelengths to use in optical metrology of an integrated circuit can be selected using one or more selection criteria and termination criteria. Wavelengths are selected using the selection criteria, and the selection of wavelengths is iterated until the termination criteria are met.

摘要翻译： 可以使用一个或多个选择标准和终止标准来选择用于集成电路的光学测量的特定波长。 使用选择标准选择波长，并重复选择波长，直到满足终止标准。