公开(公告)号：US20140321957A1

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：US14365431

申请日：2011-12-15

申请人： Katsuhiro Yamazoe ,  Shinichi Imai ,  Kosuke Sakata ,  Yoshiki Nishijima ,  Hiroaki Tsukimoto ,  Kohsaku Saino

发明人： Katsuhiro Yamazoe ,  Shinichi Imai ,  Kosuke Sakata ,  Yoshiki Nishijima ,  Hiroaki Tsukimoto ,  Kohsaku Saino

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  B25J9/1065

摘要： An object is to transmit an operation of a first parallel link to a second parallel link through a plurality of rotatably supported arms, to prevent the second parallel link from meandering or rolling so that a wafer can be transported smoothly.Arms (61 to 63) of a transmission arm unit (6) are provided for transmitting an operation of a first parallel link (4) to a second parallel link (5). An operation of the first parallel link (4) is transmitted to the second parallel link (5) so that an angle between an arm (53) and an arm (52) in the second parallel link(5) always coincides with an angle between an arm (41) and an arm (42) in the first parallel arm unit (4).

摘要翻译： 目的是通过多个可旋转地支撑的臂将第一平行连杆的操作传递到第二平行连杆，以防止第二平行连杆的蜿蜒或滚动，从而平滑地输送晶片。 传动臂单元（6）的臂（61至63）用于将第一并联连杆（4）的操作传送到第二平行连杆（5）。 第一平行连杆（4）的操作被传递到第二平行连杆（5），使得第二平行连杆（5）中的臂（53）和臂（52）之间的角度总是与 第一平行臂单元（4）中的臂（41）和臂（42）。

公开(公告)号：US09508581B2

公开(公告)日：2016-11-29

申请号：US14365431

申请日：2011-12-15

申请人： Katsuhiro Yamazoe ,  Shinichi Imai ,  Kosuke Sakata ,  Yoshiki Nishijima ,  Hiroaki Tsukimoto ,  Kohsaku Saino

发明人： Katsuhiro Yamazoe ,  Shinichi Imai ,  Kosuke Sakata ,  Yoshiki Nishijima ,  Hiroaki Tsukimoto ,  Kohsaku Saino

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  B25J9/04 ,  B25J9/10

CPC分类号： H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  B25J9/1065

摘要： An object is to transmit an operation of a first parallel link to a second parallel link through a plurality of rotatably supported arms, to prevent the second parallel link from meandering or rolling so that a wafer can be transported smoothly.Arms (61 to 63) of a transmission arm unit (6) are provided for transmitting an operation of a first parallel link (4) to a second parallel link (5). An operation of the first parallel link (4) is transmitted to the second parallel link (5) so that an angle between an arm (53) and an arm (52) in the second parallel link(5) always coincides with an angle between an arm (41) and an arm (42) in the first parallel arm unit (4).

摘要翻译： 传动臂单元（6）的臂（61至63）用于将第一并联连杆（4）的操作传送到第二平行连杆（5）。 第一平行连杆（4）的操作被传递到第二平行连杆（5），使得第二平行连杆（5）中的臂（53）和臂（52）之间的角度总是与 第一平行臂单元（4）中的臂（41）和臂（42）。