公开(公告)号：US5635893A

公开(公告)日：1997-06-03

申请号：US552278

申请日：1995-11-02

申请人： Gary L. Spraggins ,  Martin J. Abresch ,  William B. Newton ,  Renwin J. Yee

发明人： Gary L. Spraggins ,  Martin J. Abresch ,  William B. Newton ,  Renwin J. Yee

IPC分类号： H01C17/26 ,  G01K7/22 ,  H01L27/08 ,  H21C12/16

CPC分类号： G01K7/22 ,  H01L27/0802

摘要： A resistor structure (10) having a heating element (35) and a resistor (32), and a method of trimming the resistor (32). The heating element (35) is separated from the resistor (32) by a layer of dielectric material (19). The resistor (32) has a layer of resistive material (23) on an etch control layer (22). The resistor (32) is trimmed by providing current pulses (62) through the heating element (35). Heat generated by the current pulses flows to the resistor (32) and anneals or trims the resistor (32). A resistor trimming variable, e.g. a voltage across resistor contacts (30, 31), is monitored and the current pulses are modulated in accordance with the value of the resistor trimming variable (63). The trimming step is terminated when the desired resistance value of the resistor (32) is attained.

摘要翻译： 具有加热元件（35）和电阻器（32）的电阻器结构（10）以及修整电阻器（32）的方法。 加热元件（35）通过电介质材料（19）与电阻器（32）分离。 电阻器（32）在蚀刻控制层（22）上具有电阻材料层（23）。 通过提供通过加热元件（35）的电流脉冲（62）来修整电阻器（32）。 由电流脉冲产生的热量流向电阻器（32）并退火或修整电阻器（32）。 电阻修整变量，例如 监视电阻触头（30,31）两端的电压，并根据电阻微调变量（63）的值调制电流脉冲。 当达到电阻器（32）的期望电阻值时，修整步骤终止。

公开(公告)号：US5466484A

公开(公告)日：1995-11-14

申请号：US128282

申请日：1993-09-29

申请人： Gary L. Spraggins ,  Martin J. Abresch ,  William B. Newton ,  Renwin J. Yee

发明人： Gary L. Spraggins ,  Martin J. Abresch ,  William B. Newton ,  Renwin J. Yee

IPC分类号： H01C17/26 ,  G01K7/22 ,  H01L27/08 ,  H01L21/465 ,  G01K7/00 ,  H01C10/00 ,  H01L27/02

CPC分类号： G01K7/22 ,  H01L27/0802

摘要： A resistor structure (10) having a heating element (35) and a resistor (32), and a method of trimming the resistor (32). The heating element (35) is separated from the resistor (32) by a layer of dielectric material (19). The resistor (32) has a layer of resistive material (23) on an etch control layer (22). The resistor (32) is trimmed by providing current pulses (62) through the heating element (35). Heat generated by the current pulses flows to the resistor (32) and anneals or trims the resistor (32). A resistor trimming variable, e.g. a voltage across resistor contacts (30, 31), is monitored and the current pulses are modulated in accordance with the value of the resistor trimming variable (63). The trimming step is terminated when the desired resistance value of the resistor (32) is attained.

摘要翻译： 具有加热元件（35）和电阻器（32）的电阻器结构（10）以及修整电阻器（32）的方法。 加热元件（35）通过电介质材料（19）与电阻器（32）分离。 电阻器（32）在蚀刻控制层（22）上具有电阻材料层（23）。 通过提供通过加热元件（35）的电流脉冲（62）来修整电阻器（32）。 由电流脉冲产生的热量流向电阻器（32）并退火或修整电阻器（32）。 电阻修整变量，例如 监视电阻触头（30,31）两端的电压，并根据电阻微调变量（63）的值调制电流脉冲。 当达到电阻器（32）的期望电阻值时，修整步骤终止。