利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

2 条记录 (耗时 0.009 秒)

    AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING APPARATUS AND AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING METHOD
    1.
    发明申请
    AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING APPARATUS AND AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING METHOD 有权
    自动锂钛靶材再生设备和自动化锂靶材再生方法

    公开(公告)号：US20140134324A1

    公开(公告)日：2014-05-15

    申请号：US14128371

    申请日：2012-05-31

    申请人： Ryo Fujii ,  Masaru Nakamura ,  Yoshio Imahori ,  Masaharu Hoshi

    发明人： Ryo Fujii ,  Masaru Nakamura ,  Yoshio Imahori ,  Masaharu Hoshi

    IPC分类号： C23C16/06

    CPC分类号： C23C16/06 ,  C23C14/14 ,  H05H6/00

    摘要： Provided are an automatic lithium target regenerating apparatus and an automatic lithium target regenerating method, which are equipped with a measurement function of a lithium film thickness of a lithium target, and may automatically regenerate the consumed lithium target by moving a vapor deposition source to the lithium target. An automatic lithium target regenerating apparatus (106) is allowed to automatically regenerate lithium of a lithium target. The automatic lithium target regenerating apparatus (106) includes a lithium vapor deposition unit (1) for vapor-depositing the lithium on the lithium target. The lithium vapor deposition unit (1) is allowed to vapor-deposit the lithium on the lithium target by moving to the lithium target side.

    摘要翻译： 提供一种自动锂靶再生装置和自动锂靶再生方法，其具有锂靶的锂膜厚度的测量功能，并且可以通过将气相沉积源移动到锂来自动再生消耗的锂靶 目标。 允许自动锂靶再生装置（106）自动再生锂靶的锂。 自动锂靶再生装置（106）具备锂蒸气沉积单元（1），用于在锂靶上气相沉积锂。 允许锂气相沉积单元（1）通过移动到锂靶侧而将锂沉积在锂靶上。