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    AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING APPARATUS AND AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING METHOD
    2.
    发明申请
    AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING APPARATUS AND AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING METHOD 有权
    自动锂钛靶材再生设备和自动化锂靶材再生方法

    公开(公告)号：US20140134324A1

    公开(公告)日：2014-05-15

    申请号：US14128371

    申请日：2012-05-31

    申请人： Ryo Fujii ,  Masaru Nakamura ,  Yoshio Imahori ,  Masaharu Hoshi

    发明人： Ryo Fujii ,  Masaru Nakamura ,  Yoshio Imahori ,  Masaharu Hoshi

    IPC分类号： C23C16/06

    CPC分类号： C23C16/06 ,  C23C14/14 ,  H05H6/00

    摘要： Provided are an automatic lithium target regenerating apparatus and an automatic lithium target regenerating method, which are equipped with a measurement function of a lithium film thickness of a lithium target, and may automatically regenerate the consumed lithium target by moving a vapor deposition source to the lithium target. An automatic lithium target regenerating apparatus (106) is allowed to automatically regenerate lithium of a lithium target. The automatic lithium target regenerating apparatus (106) includes a lithium vapor deposition unit (1) for vapor-depositing the lithium on the lithium target. The lithium vapor deposition unit (1) is allowed to vapor-deposit the lithium on the lithium target by moving to the lithium target side.

    摘要翻译： 提供一种自动锂靶再生装置和自动锂靶再生方法，其具有锂靶的锂膜厚度的测量功能，并且可以通过将气相沉积源移动到锂来自动再生消耗的锂靶 目标。 允许自动锂靶再生装置（106）自动再生锂靶的锂。 自动锂靶再生装置（106）具备锂蒸气沉积单元（1），用于在锂靶上气相沉积锂。 允许锂气相沉积单元（1）通过移动到锂靶侧而将锂沉积在锂靶上。