公开(公告)号：US6152175A

公开(公告)日：2000-11-28

申请号：US89346

申请日：1998-06-03

申请人： Masahito Itoh ,  Toshiyasu Inagaki ,  Minoru Ueta ,  Masahiko Yada ,  Hiroshi Itafuji

发明人： Masahito Itoh ,  Toshiyasu Inagaki ,  Minoru Ueta ,  Masahiko Yada ,  Hiroshi Itafuji

IPC分类号： F16K27/00 ,  F17D1/04 ,  F16K51/00

CPC分类号： F16K27/003 ,  F17D1/04 ,  Y10T137/87571 ,  Y10T137/87684 ,  Y10T137/87885

摘要： A process gas supply unit without conventional pipes. The process gas supply unit may include the components of a mass flow controller, an input valve, an output valve, a purge valve, a vacuum valve, a check valve, a regulator, and a filter. Module blocks are attached to at least one of the components with bolts from a predetermined direction. The module blocks are mounted on base plates with bolts from the same predetermined direction, and the base plates are mounted on a mounting panel with bolts from the same predetermined direction.

摘要翻译： 没有常规管道的工艺气体供应单元。 过程气体供应单元可以包括质量流量控制器，输入阀，输出阀，净化阀，真空阀，止回阀，调节器和过滤器的组件。 模块通过螺栓从预定方向附接至至少一个部件。 模块通过螺栓从相同的预定方向安装在基板上，并且用相同的预定方向的螺栓将基板安装在安装面板上。