公开(公告)号：US07211513B2

公开(公告)日：2007-05-01

申请号：US10825889

申请日：2004-04-15

申请人： Michael R. Remington, Jr. ,  Srikanth Varanasi ,  David A. Strickler

发明人： Michael R. Remington, Jr. ,  Srikanth Varanasi ,  David A. Strickler

IPC分类号： H01L21/44

CPC分类号： C03C17/225 ,  C03C17/2456 ,  C03C17/3417 ,  C03C17/3435 ,  C23C16/308

摘要： Nitrogen doped titanium oxide coatings on a hot glass substrate are prepared by providing a uniform vaporized reactant mixture containing a titanium compound, a nitrogen compound and an oxygen-containing compound, and delivering the reactant mixture to the surface of a ribbon of hot glass, where the compounds react to form a nitrogen doped titanium oxide coating. The nitrogen doped titanium oxide coatings deposited in accordance with the invention demonstrate an increase in visible light absorption.

摘要翻译： 通过提供含有钛化合物，氮化合物和含氧化合物的均匀蒸发的反应物混合物并将反应物混合物输送到热玻璃带的表面来制备热玻璃基板上的氮掺杂氧化钛涂层，其中 化合物反应形成氮掺杂的氧化钛涂层。 根据本发明沉积的氮掺杂氧化钛涂层表明可见光吸收增加。