公开(公告)号：US5410428A

公开(公告)日：1995-04-25

申请号：US779737

申请日：1991-10-23

申请人： Shigeru Yamagata ,  Michiyou Kuriyama ,  Kyoichi Inaki ,  Ralf Takke

发明人： Shigeru Yamagata ,  Michiyou Kuriyama ,  Kyoichi Inaki ,  Ralf Takke

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G02B1/00 ,  G03F7/20 ,  H01S3/034 ,  C03C4/08

CPC分类号： G03F7/70958 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  G02B1/00 ,  G03F7/70241 ,  H01S3/034 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/54 ,  Y10S359/90 ,  Y10S501/905

摘要： This invention relates to an optical member made of highly transparent, high-purity synthetic silica glass, to a method for manufacturing a blank or an optical member of such glass, and to the optical members themselves. The optical members have an absolute refractive index, n.sub.d, of 1.460 or more and a hydrogen molecule concentration of at least 5.times.10.sup.16 molecules/cm.sup.3 uniformly distributed throughout the glass and are particularly well suited for use in apparatus in which they are exposed to a high-power laser beam such as that produced by an excimer laser.

摘要翻译： 本发明涉及由高透明，高纯度的合成石英玻璃制成的光学构件，制造这种玻璃的坯料或光学构件的方法以及光学构件本身。 光学构件的绝对折射率nd为1.460以上，氢分子浓度至少为5×10 16分/ cm 3，均匀分布在整个玻璃中，特别适用于将其暴露于高分子量的设备中， 功率激光束，例如由准分子激光器产生的激光束。