公开(公告)号：US08988654B2

公开(公告)日：2015-03-24

申请号：US13071165

申请日：2011-03-24

申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

IPC分类号： G02B7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/003 ,  G02B7/02 ,  G03F7/70825

摘要： Support elements for an optical element and a method for supporting an optical element are disclosed. The disclosure can be used in connection with arbitrary optical apparatuses or optical imaging methods. In particular, the disclosure can be used in connection with the microlithography employed in the manufacture of microelectronic circuits.

摘要翻译： 公开了用于光学元件的支撑元件和用于支撑光学元件的方法。 本公开可以与任意光学装置或光学成像方法结合使用。 特别地，本公开可以结合用于制造微电子电路的微光刻来使用。

公开(公告)号：US20120067833A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：US13071165

申请日：2011-03-24

申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

IPC分类号： H05K7/18

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/003 ,  G02B7/02 ,  G03F7/70825

摘要： Support elements for an optical element and a method for supporting an optical element are disclosed. The disclosure can be used in connection with arbitrary optical apparatuses or optical imaging methods. In particular, the disclosure can be used in connection with the microlithography employed in the manufacture of microelectronic circuits.

摘要翻译： 公开了用于光学元件的支撑元件和用于支撑光学元件的方法。 本公开可以与任意光学装置或光学成像方法结合使用。 特别地，本公开可以结合用于制造微电子电路的微光刻来使用。