公开(公告)号：US20120273677A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：US13456944

申请日：2012-04-26

申请人： Lubomir Tuma ,  Petr Hlavenka ,  Petr Sytar ,  Radek Ceska ,  Bohuslav Sed'a

发明人： Lubomir Tuma ,  Petr Hlavenka ,  Petr Sytar ,  Radek Ceska ,  Bohuslav Sed'a

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/244 ,  H01J37/10

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

摘要： The invention relates to an in-column back-scattered electron detector, the detector placed in a combined electrostatic/magnetic objective lens for a SEM. The detector is formed as a charged particle sensitive surface, preferably a scintillator disk that acts as one of the electrode faces forming the electrostatic focusing field. The photons generated in the scintillator are detected by a photon detector, such as a photo-diode or a multi-pixel photon detector. The objective lens may be equipped with another electron detector for detecting secondary electrons that are kept closer to the axis. A light guide may be used to offer electrical insulation between the photon detector and the scintillator.

摘要翻译： 本发明涉及一种柱内反向散射电子检测器，该探测器放置在用于SEM的组合静电/磁性物镜中。 检测器形成为带电粒子敏感表面，优选地形成作为形成静电聚焦场的电极面之一的闪烁体盘。 在闪烁体中产生的光子被光子检测器（例如光电二极管或多像素光子检测器）检测。 物镜可以配备有用于检测保持靠近轴线的二次电子的另一电子检测器。 可以使用光导来在光子检测器和闪烁体之间提供电绝缘。