公开(公告)号：US20060017899A1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：US11184856

申请日：2005-07-20

申请人： Seok-Jung Park

发明人： Seok-Jung Park

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70508 ,  G03F9/7026 ,  G03F9/7034

摘要： An exposure apparatus generates an interlock signal to stop an exposure process when defocus is detected in real time. Leveling data for at least one wafer, and a predetermined threshold value are stored in a memory of the exposure apparatus. A value indicative of the defocus is calculated from the leveling data. An interlock signal is generated if the result of comparing the defocus value and the threshold value reveals that the focus of a lens of the exposure apparatus is outside an acceptable range.

摘要翻译： 当实时检测散焦时，曝光装置产生互锁信号以停止曝光处理。 至少一个晶片的调平数据和预定的阈值被存储在曝光设备的存储器中。 根据调平数据计算出指示散焦的值。 如果比较散焦值和阈值的结果，则曝光装置的透镜的焦点在可接受的范围之外，则产生互锁信号。

公开(公告)号：US07394523B2

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：US11184856

申请日：2005-07-20

申请人： Seok-Jung Park

发明人： Seok-Jung Park

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42 ,  G03B27/32 ,  G01N21/86 ,  G03C5/00

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70508 ,  G03F9/7026 ,  G03F9/7034

摘要： An exposure apparatus generates an interlock signal to stop an exposure process when defocus is detected in real time. Leveling data for at least one wafer, and a predetermined threshold value are stored in a memory of the exposure apparatus. A value indicative of the defocus is calculated from the leveling data. An interlock signal is generated if the result of comparing the defocus value and the threshold value reveals that the focus of a lens of the exposure apparatus is outside an acceptable range.

摘要翻译： 当实时检测散焦时，曝光装置产生互锁信号以停止曝光处理。 至少一个晶片的调平数据和预定的阈值被存储在曝光设备的存储器中。 根据调平数据计算出指示散焦的值。 如果比较散焦值和阈值的结果，则曝光装置的透镜的焦点在可接受的范围之外，则产生互锁信号。

公开(公告)号：US20120027305A1

公开(公告)日：2012-02-02

申请号：US13023648

申请日：2011-02-09

申请人： Mo-Hyun KIM ,  Seok-Jung PARK ,  Yong-Sik KIM ,  Han-Yeol KIM ,  Jeong-Won OH ,  Hyung-Chul LEE

发明人： Mo-Hyun KIM ,  Seok-Jung PARK ,  Yong-Sik KIM ,  Han-Yeol KIM ,  Jeong-Won OH ,  Hyung-Chul LEE

IPC分类号： G06K9/46 ,  G06K9/62

CPC分类号： G06K9/00664

摘要： A method for providing a guide for augmented reality object recognition includes acquiring image information, analyzing an object corresponding to the image information, and outputting object recognition guide information according to a result of analyzing the object. An apparatus to provide a guide for augmented reality object recognition includes an image acquisition unit to acquire and output image information, and a control unit to analyze an object corresponding to the image information and to output object recognition guide information according to a result of analyzing the object.

摘要翻译： 用于提供用于增强现实对象识别的引导的方法包括获取图像信息，分析与图像信息相对应的对象，以及根据分析对象的结果输出对象识别引导信息。 提供用于增强现实物体识别的指南的装置包括：图像获取单元，用于获取和输出图像信息，以及控制单元，用于分析对应于图像信息的对象，并根据分析结果输出对象识别指南信息 目的。