公开(公告)号：US20140076462A1

公开(公告)日：2014-03-20

申请号：US14006606

申请日：2011-03-23

Applicant: Aiguo Zheng ,  Yuezhong Ma ,  Shiping Zheng ,  Xuecheng Dong ,  Hongbo Qin ,  Zhijun Yang ,  Shiwu Hua ,  Hui Li ,  Xudong Xi ,  Qingsheng Zhang ,  Shengfang Yang ,  Yong Jin

Inventor： Aiguo Zheng ,  Yuezhong Ma ,  Shiping Zheng ,  Xuecheng Dong ,  Hongbo Qin ,  Zhijun Yang ,  Shiwu Hua ,  Hui Li ,  Xudong Xi ,  Qingsheng Zhang ,  Shengfang Yang ,  Yong Jin

IPC: C23C8/10

CPC classification number: C23C8/10 ,  C23C8/02 ,  C23C8/12

Abstract: A method for passivating tantalum metal surface is provided, the method comprises cooling tantalum metal to or below 32° C. and/or passivating tantalum metal surface by oxygen-containing gas with a temperature of 0° C. or below. Also provided is an apparatus for passivating tantalum metal surface for applying the method, comprising a heat treatment furnace, an argon forced-cooling device and/or a device for cooling oxygen-containing gas.

Abstract translation: 提供了一种钝化钽金属表面的方法，该方法包括将钽金属冷却至或低于32℃，和/或通过含0℃或更低温度的含氧气体钝化钽金属表面。 还提供了一种用于钝化用于施加该方法的钽金属表面的装置，包括热处理炉，氩强制冷却装置和/或用于冷却含氧气体的装置。