公开(公告)号：US08406911B2

公开(公告)日：2013-03-26

申请号：US12837910

申请日：2010-07-16

申请人： Shreyas Subhash Limaye ,  Andrew Crehan Walker ,  Yeheyis Workeneh

发明人： Shreyas Subhash Limaye ,  Andrew Crehan Walker ,  Yeheyis Workeneh

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32017 ,  G05B2219/32198 ,  G05B2219/32416 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

摘要： A method and apparatus are provided for implementing Advanced Process Control (APC) for enhanced electrical, magnetic, or physical properties process output control using a sequential segmented interleaving algorithm. The sequential segmented interleaving algorithm includes two tuning equations running in parallel. A deposition time is calculated after a production run based upon the relationship between the electrical, magnetic, or physical properties process output and deposition time process input. A deposition rate offset value is calculated after a calibration run based upon the relationship between a calibration deposition thickness process output and an updated deposition time process input calculated after a last production run.

摘要翻译： 提供了一种方法和装置，用于实现使用顺序分段交织算法的增强电，磁或物理属性过程输出控制的高级过程控制（APC）。 顺序分段交织算法包括并行运行的两个调谐方程。 基于电气，磁性或物理性能过程输出与沉积时间过程输入之间的关系，在生产运行后计算沉积时间。 基于校准沉积厚度过程输出和在最后生产运行之后计算的更新的沉积时间过程输入之间的关系，在校准运行之后计算沉积速率偏移值。

公开(公告)号：US20120016499A1

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：US12837910

申请日：2010-07-16

申请人： Shreyas Subhash Limaye ,  Andrew Crehan Walker ,  Yeheyis Workeneh

发明人： Shreyas Subhash Limaye ,  Andrew Crehan Walker ,  Yeheyis Workeneh

IPC分类号： G05B19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32017 ,  G05B2219/32198 ,  G05B2219/32416 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

摘要： A method and apparatus are provided for implementing Advanced Process Control (APC) for enhanced electrical, magnetic, or physical properties process output control using a sequential segmented interleaving algorithm. The sequential segmented interleaving algorithm includes two tuning equations running in parallel. A deposition time is calculated after a production run based upon the relationship between the electrical, magnetic, or physical properties process output and deposition time process input. A deposition rate offset value is calculated after a calibration run based upon the relationship between a calibration deposition thickness process output and an updated deposition time process input calculated after a last production run.

摘要翻译： 提供了一种方法和装置，用于实现使用顺序分段交织算法的增强电，磁或物理属性过程输出控制的高级过程控制（APC）。 顺序分段交织算法包括并行运行的两个调谐方程。 基于电气，磁性或物理性能过程输出与沉积时间过程输入之间的关系，在生产运行后计算沉积时间。 基于校准沉积厚度过程输出和在最后生产运行之后计算的更新的沉积时间过程输入之间的关系，在校准运行之后计算沉积速率偏移值。