公开(公告)号：US20060162769A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：US10523036

申请日：2003-08-04

申请人： Emilio Palomares Gil ,  John Clifford ,  Saif Haque ,  Thierry Lutz ,  James Durrant

发明人： Emilio Palomares Gil ,  John Clifford ,  Saif Haque ,  Thierry Lutz ,  James Durrant

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L21/02178 ,  C03C17/25 ,  C03C2217/229 ,  C03C2218/113 ,  H01G9/2031 ,  H01G9/2054 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/022 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/3142 ,  Y02E10/542

摘要： A low-temperature fabrication method for fabricating a conformal metal oxide coating on a substrate, the method comprising the steps of. coating a surface of a substrate with a non-hydrolysed precursor solution of one or more moisture-sensitive metal alkoxides in an organic solvent at a temperature of less than 150° C.; and rinsing the precursor solution coated on the surface of the substrate in water at a temperature of less than 150° C. to hydrolyse precursor solution at the surface of the substrate and thereby form a conformal metal oxide coating on the substrate.

摘要翻译： 一种用于在衬底上制造保形金属氧化物涂层的低温制造方法，所述方法包括以下步骤。 在低于150℃的温度下，用有机溶剂中的一种或多种水分敏感的金属醇盐的未水解的前体溶液涂覆基材的表面; 并在低于150℃的温度下在水中冲洗涂覆在基材表面上的前体溶液，以在基材表面水解前体溶液，从而在基材上形成共形金属氧化物涂层。