公开(公告)号：US20100186000A1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：US12690791

申请日：2010-01-20

申请人： ABDURRAHMAN SEZGINER ,  Bayram Yenikaya ,  Hsu-Ting Huang

发明人： ABDURRAHMAN SEZGINER ,  Bayram Yenikaya ,  Hsu-Ting Huang

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G03F1/36

摘要： An apparatus and method for modifying a mask data set includes calculating a derivative of a figure-of-merit, indicative of a data set defined by a plurality of polygon edges and then segmenting polygon edges in response to said step of calculating.

摘要翻译： 用于修改掩模数据集的装置和方法包括计算表示由多个多边形边界定义的数据集的品质因数的导数，然后响应于所述计算步骤来分割多边形边缘。