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发明申请
MICRO-MACHINING EMPLOYING MULTIPLE INDEPENDENTLY FOCUSED AND INDEPENDENTLY STEERED BEAMS 审中-公开
标题翻译：微型加工采用多个独立聚焦和独立转向的物体

公开(公告)号：US20060213885A1

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：US11420445

申请日：2006-05-25

申请人： Abraham GROSS , Zvi KOTLER , Eliezer LIPMAN , Dan ALON

发明人： Abraham GROSS , Zvi KOTLER , Eliezer LIPMAN , Dan ALON

IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/38

CPC分类号： H05K3/0026 , B23K26/067 , B23K26/0676 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2103/172

摘要： A system for delivering energy to a substrate includes a laser energy source providing at least two laser beams, wherein each of the beams is steered to an independently selectable location on a target, and is independently focused onto the target.

摘要翻译： 用于向衬底传送能量的系统包括提供至少两个激光束的激光能量源，其中每个光束被转向到目标上的独立可选择的位置，并且独立地聚焦到目标上。