公开(公告)号：US09909203B2

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：US14873293

申请日：2015-10-02

申请人： Agency for Science, Technology and Research

发明人： Joel Kwang Wei Yang ,  Ying Min Wang ,  Mohamed Asbahi ,  Yong-Wei Zhang ,  Liangxing Lu ,  Bharathi Madurai Srinivasan

IPC分类号： C23C10/60 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/58

CPC分类号： C23C10/60 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/5806

摘要： A method for fabrication of metal film with nanoapertures is provided. The method includes the steps of providing a nanopatterned template including a plurality of nanostructures, depositing of the metal film onto the nanopatterned template, and thermally induced dewetting of the metal film to define the nanoapertures in the metal film by diffusion and reflow of the metal film.

公开(公告)号：US20160097116A1

公开(公告)日：2016-04-07

申请号：US14873293

申请日：2015-10-02

申请人： Agency for Science, Technology and Research

发明人： Joel Kwang Wei Yang ,  Ying Min Wang ,  Mohamed Asbahi ,  Yong-Wei Zhang ,  Liangxing Lu ,  Bharathi Madurai Srinivasan

IPC分类号： C23C10/60

CPC分类号： C23C10/60 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/5806

摘要： A method for fabrication of metal film with nanoapertures is provided. The method includes the steps of providing a nanopatterned template including a plurality of nanostructures, depositing of the metal film onto the nanopatterned template, and thermally induced dewetting of the metal film to define the nanoapertures in the metal film by diffusion and reflow of the metal film.

摘要翻译： 提供了一种制造具有纳米孔径的金属膜的方法。 该方法包括以下步骤：提供包括多个纳米结构的纳米图案化模板，将金属膜沉积到纳米图案化模板上，以及热诱导金属膜的去湿以通过金属膜的扩散和回流来限定金属膜中的纳米孔 。