公开(公告)号：US5465611A

公开(公告)日：1995-11-14

申请号：US220157

申请日：1994-03-30

申请人： Alexander Ruf ,  Michael Abraham ,  Manfred Lacher ,  Thomas Zetterer ,  Thomas R. Dietrich

发明人： Alexander Ruf ,  Michael Abraham ,  Manfred Lacher ,  Thomas Zetterer ,  Thomas R. Dietrich

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01B1/00 ,  G01B7/34 ,  G01B9/00 ,  G01B9/04 ,  G01L1/04 ,  G01L1/24 ,  G01L5/00 ,  G01N27/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/08 ,  H01J37/28 ,  H01L21/302

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00 ,  G01Q20/02 ,  Y10S977/863

摘要： A sensor head (1) is described, which has a spacer (5b) between a carrier element (2) and the spring arm (7), which, perhaps carries a sensor tip (9) at the free end; the spacer defines the distance d between the spring arm (7) and the carrier element (2). In a preferred embodiment, the spacer (5b) comprises a sacrificial layer (5a), which is etched out, except for the spacer (5b), after the formation of a corresponding layer system between the spring arm (7) and the carrier element (2). The carrier element (2) and the spring arm (7) are each provided with a reflecting layer (4 and 6). In accordance with another specific embodiment, plasmonactive layers can also be provided.

摘要翻译： 描述了一种传感器头（1），其在载体元件（2）和弹簧臂（7）之间具有间隔件（5b），其可以在自由端承载传感器尖端（9） 间隔件限定弹簧臂（7）和载体元件（2）之间的距离d。 在优选实施例中，在弹簧臂（7）和载体元件（7）之间形成相应的层系统之后，间隔物（5b）包括除了间隔物（5b）之外被蚀刻掉的牺牲层（5a） （2）。 载体元件（2）和弹簧臂（7）均设有反射层（4和6）。 根据另一具体实施方案，也可以提供等离子体活性层。