公开(公告)号：US20050204753A1

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：US10804842

申请日：2004-03-19

申请人： Allen Bartlett ,  Gary Ash ,  Brian Thompson ,  Mark Stira

发明人： Allen Bartlett ,  Gary Ash ,  Brian Thompson ,  Mark Stira

IPC分类号： F04B37/08 ,  B01D8/00

CPC分类号： F04B37/08

摘要： A single ducted valve assembly provides an integrated cryopump valve having a purge valve port connecting the assembly to a cryopump with a coaxial connection having an inner duct and an outer duct. A pressurized gas interface connects a pressurized gas source to the cryopump through the inner duct. A rough valve port can connect the outer duct of the assembly to a rough vacuum pump; and a relief valve port can connect the outer duct of the assembly to an exhaust stack.

摘要翻译： 单个管道阀组件提供集成的低温泵，其具有将组件连接到具有内部管道和外部管道的同轴连接的低温泵的净化阀口。 加压气体界面通过内部管道将加压气体源连接到低温泵。 一个粗糙的阀口可以将组件的外部管道连接到一个粗糙的真空泵上; 并且安全阀端口可以将组件的外部管道连接到排气叠层。